/ SES/BW3000 / SES/BW3000 300mm F-TYPE(BATCH) / /
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- ウエハサイズ12inch(300mm)
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- L/D-L/R-C/W-HS1-HS2-HQDR1-SC1(1)-SC1(2)-HQDR2-DHF-QDR-F/R-RMMDS-UL/D, 50 wafers
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